光刻加工-苏州吉林快三微流控技术股份有限公司

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光刻加工

光刻技术图形转移工艺

光刻工艺(Photoetching or Lithography)是一种图像复印技术,运用光刻胶感光后特性发生革新的原理,将光刻掩膜版的图形准确地复印到涂在硅晶圆片上的光刻胶上,然后运用光刻胶作为掩膜掩护,在晶圆片外貌的掩膜层上举行选择性加工(刻蚀或注入),从而在晶圆片上失失相应的图形布局。其紧张进程为:起首紫外光颠末掩膜版照射到涂有一层光刻胶薄膜的硅晶圆片外貌,惹起曝光地域的光刻胶发生化学应声,再颠末显影技术溶解去除曝光地域或未曝光地域的光刻胶(前者称正性光刻胶,后者称负性光刻胶),使掩膜版上的图形被复制到光刻胶薄膜上,着末运用刻蚀技术将图形转移到基片上或运用套刻技术构成PDMS吉林快三

光刻技术

吉林快三提供电子束光刻、步进式光刻、打仗式光刻等光刻技术,线宽最小可达10nm,多种光刻技术连合的先辈光刻理念,完成客户差异尺寸的光刻需求。

旋涂技术

旋涂技术的优劣直接影响到光刻的结果。吉林快三提供专业的旋涂技术,样品涵盖1cm²到12寸晶圆,旋涂匀称性好,粘附性高,制风致量好。

刻蚀工艺

刻蚀工艺紧张有湿法刻蚀和干法刻蚀。湿法刻蚀是一种纯化学刻蚀,运用液体化学试剂与待刻蚀质料应声天生可溶性化合物,抵达刻蚀目的,具有精良的选择性,刻蚀完以后薄膜就会抑制,不会粉碎下面一层其他质料的薄膜,具有各向异性,横向刻蚀的宽度都接近于垂直刻蚀的深度因此,基层光刻胶的图案与基层质料上被刻蚀出的图案存在一定的缺陷。

干法刻蚀是运用等离子体与待刻蚀质料相互作用(物理轰击和化学应声),从而撤除未被光刻胶掩护的质料而抵达刻蚀的目的。干法刻蚀又分为三种:物理性刻蚀(溅射刻蚀)、化学性刻蚀、物理化学性刻蚀干法刻蚀可以做到各向异性刻蚀,但不克不及举行选择性刻蚀。

如今在图形转移中,氮化硅、多晶硅、金属以及合金质料等多采取干法刻蚀技术,而二氧化硅多采取湿法刻蚀技术,偶然偶然金属铝也采取湿法刻蚀技术。

特性业务

吉林快三股份配置了完备的微流控吉林快三加工配置及拥有阅历丰厚的吉林快三工程师团队,可提供范例吉林快三和客户定制吉林快三加工办事,客户可以依据自身的需求设计微流控吉林快三或委托微流控吉林快三设计与加工。

吉林快三如今可提供光刻胶模具(深宽比一样伟大为1:1~3:1)、纯硅模具(深宽比一样伟大为10:1~15:1)、玻璃吉林快三、镀金/电极吉林快三、PDMS吉林快三的客户定制设计与加工,PDMS吉林快三批量斲丧、也包括吉林快三掩膜、刻蚀、切割、打孔、封合、封装、亲疏水处置处分等工艺的相关办事。

一、硅片模具

加工技艺:2英寸硅片、3英寸硅片、4英寸硅片(常用)、5英寸硅片光刻加工,最小线宽5μm,高度5μm到400μm可控,方向在5-10%;

光刻胶种类:入口SU8系列,国产SU8系列,入口AZ50XT,AZ9260;

光刻胶模具益处:图案化容易,运用方便,如今为微流控模具加工的紧张加工工艺:

Ø 单层布局:一个光刻胶模具一种高度

Ø 双层布局:一个光刻胶模具两种高度

Ø 三层布局:一个光刻胶模具三种高度

硅片模具 

二、玻璃吉林快三

玻璃吉林快三益处:加工遵从高、精度高、运用方便、无污染、高化学惰性;高透光性,可以直接观察化学或细胞的应声;高耐温性和高电阻,可举行高压电泳疏散;精良的呆板坚定性,可颠末高的静水压力完成微流道中液体的运输。

玻璃微流控吉林快三的典范运用:基因测序吉林快三、光学阐发吉林快三、微流控吉林快三、精子计数池、细胞计数板、化学剖析等。

玻璃吉林快三 

1、玻璃湿法蜕化

加工技艺:深度5 到250μm可控;通道宽度=掩膜设计宽度+2*通道深度;

加工时必需整版举行加工,基材尺寸为10cm*10cm方片,加工之后切割。

益处:外貌粗糙度较小,通道较浅时通道内壁腻滑;

缺陷:深度难以准确控制,通道深度大于50μm时内壁腻滑度变差,宽深比必需大于2:1。

2、玻璃数控加工

加工技艺:深度100μm以上可控,线宽20μm以上可控,加工方向在5%以内,外缘切割方向在20μm以内;

益处:管道深宽相比大,加工出的通道平整度较高;

缺陷:资源高,管道截面通常呈V型约莫梯形。

3、玻璃激光加工

加工技艺:深度100μm以上可控,线宽20μm以上可控,加工方向在10%以内,外缘切割方向在40μm以内。

益处:资源低,管道深宽相比大;

缺陷:粗糙度较大,管道截面通常呈V型约莫梯形。

三、PDMS吉林快三

PDMS吉林快三 

加工技艺:可依据客户要求举行套刻、浇铸、切割、打孔,加工庞大PDMS吉林快三或定制腔体等。

PDMS吉林快三加工通常采取软光刻技术来制造,通常需要用到模板,最惯例和通常运用的模板是SU-8模具,也可运用金属模具、PMMA等塑料模具。

PDMS吉林快三单次套刻可餍足深宽比1:1~10:1,套刻厚度10微米~2厘米,打孔直径0.4毫米~10毫米,着末与玻璃、PDMS以及其他材质片材举行封合。

制造的范例缺陷:

1) 通道高度:△h=±5%通道高度

2) 高度特性的精度:±5%通道高度

3) 通道侧壁垂直度:±3°

四、镀金/电极吉林快三

      加工技艺:可加工镀金、镀铂、ITO等电极吉林快三,下限宽度为50μm,隔绝50μm。

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