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    高明宽比光敏玻璃

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    吉林快三该光敏玻璃采取连熔法斲丧,具有先辈的光敏性、均质性。该玻璃一款技术光敏玻璃。该光敏玻璃颠末紫外曝光以及热处置处分后会析出晶体,这些析晶地域在酸蜕化之后可以构成高明宽比的庞大结讨论通孔。再颠末二次曝光和热处置处分,玻璃基体可以发生相变构成玻璃陶瓷,以此增强玻璃的呆板遵从。这些特性使光敏玻璃大批运用在微流控(Microfluidics)、无线射频(RF)元件和微机电体系(MEMS)等范围。灼烁玻璃晶圆的范例供

    1. 过细信息

    光敏玻璃采取连熔法斲丧,具有先辈的光敏性、均质性。该玻璃一款技术光敏玻璃。该光敏玻璃颠末紫外曝光以及热处置处分后会析出晶体,这些析晶地域在酸蜕化之后可以构成高明宽比的庞大结讨论通孔。再颠末二次曝光和热处置处分,玻璃基体可以发生相变构成玻璃陶瓷,以此增强玻璃的呆板遵从。这些特性使光敏玻璃大批运用在微流控(Microfluidics)、无线射频(RF)元件和微机电体系(MEMS)等范围。


    灼烁玻璃晶圆的范例提供尺寸包括直径6英寸或8英寸的晶圆以及200X200毫米方形基板,产品厚度则在0.5毫米—1毫米之间,别的可以依据客户需求定制差异尺寸的玻璃片。


    光敏玻璃具有一系列良好特性,比如:


    1、 大于10:1的深宽比;

    2、 最小35微米直径的通孔(0.5mm厚度的玻璃);

    3、 最小45微米的间距;

    4、大于30:1蜕化速率(处置处分区和非处置处分区);

    5、垂直度大于88度;

    6、 加工地域粗糙度小于3微米;

    7、高度质量均一性:先辈的熔制工艺确保光敏性均一且具高度重现性;

    8、无需光刻胶即可制造微布局;

    9、极佳的透光特性(同时表如今可见区和非可见区);

    10、生物兼容性:耐温,化学坚定;

    11、环境友爱:切合EU-RoHS 和 EU-REACH规矩;

    12、光敏玻璃的切割和键合,基本可以相沿传统的加工技艺。


    光敏玻璃差异尺寸的方孔加工结果:


    光敏玻璃差异尺寸的方孔加工结果


    光敏玻璃差异尺寸的圆孔加工结果:


    光敏玻璃差异尺寸的圆孔加工结果



    采取光敏玻璃加工的庞大布局:


    采取光敏玻璃加工的庞大布局


    光敏玻璃加工布局的外貌粗糙度:


    光敏玻璃加工布局的外貌粗糙度





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