涂胶显影机:用于光刻工艺中的显影进程 - 吉林快三股份

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    WH-XY-01 显影机

    • 型号WH-XY-01
    • 情势顺时针/逆时针

    显影机可以对 7 英寸及以下规格的硅片举行程控式自动化显影。

    1. 过细信息

    1. 产品简介

    显影机(WH-XY-01)是吉林快三股份自主开拓的具有独立知识产权的一款产品, 针对光刻工艺中的显影进程而设计开拓的,可以对 7 英寸以下规格的硅片举行程控式自动化显影。该配置可完全互换微流控吉林快三制造进程中的手动显影关键,降服了手动显影进程中的显影液参与量不可控、硅片显影时间不可控、同规格硅片隔绝显影结果不可控,最大水平上淘汰应用职员人为要素招致的显影质量标题以及硅片的粉碎。

        显影机(WH-XY-01)过细说明书下载

    显影机紧张特点如下:

    1)显影池摇晃震荡频率可设定,包管显影液与硅片等打仗富裕,提高显影结果与质量;

    2)可依据显影的载体举行准确设定显影托盘起落位置,从而确定显影液的进入添加量,抑制显影液的糜费;

    3)显影液可以自动添加与排放,机动互换;

    4)友爱的人机界面设计,包管应用职员的运用体验与安全;

    5)便携性好,方便在实行室移动。

    6)腔体为SUS304质料的耐蜕化腔体

    2. 技术参数 

    震荡方向:顺时针/逆时针 

    转速:10~300RPM 

    液量控制:50~500mL 

    适配硅片/吉林快三:≤7 寸 

    显影时间:0~999s 

    进液速率:0~100% 

    电源输入:AC220V±10V/50HZ 

    功率:150W 

    重量:14 kg 

    外形尺寸:375(W)* 380(D)* 300(H)mm 

    变乱环境:温度 0℃-40 ℃,相对湿度<80 %

    3. 特性图解

    显影机外表说明

    显影机外表特性

    4.如需相识产品价钱及其他技术内容可咨询我司客服。


    标签:   显影